SUNUM Teknik Ekibinin 10 Kasım için hazırladığı özel tasarımda, görsel 8-bit gri tonlu (grayscale) olarak oluşturuldu. Bu görsel, BEAMER (GenISys) yazılımı kullanılarak 256 farklı katmana dönüştürüldü ve GPF formatında yazıma hazır hale getirildi. Ardından, silikon alttaş üzerine PMMA 950 A9 e-beam resist kaplanarak, Raith EBPG5000plusES 100 kV Elektron Işın Litografi Sistemi ile yazım gerçekleştirildi. Her katman için farklı elektron dozları uygulanarak görsel, alttaş üzerinde mikrometre ölçeğinde 3 boyutlu bir yapı olarak oluşturuldu.Yazım sonrası, PMMA geliştirici (developer) ile işlem tamamlandı. SEM görüntüleme sırasında yüklenmeyi (charging) önlemek amacıyla yüzey, 20 nm kalınlığında Pd/Au ince film ile sputter yöntemiyle kaplandı. Son aşamada örnek, JEOL JIB-4601 MultiBeam FIB-SEM sistemi ile 5 kV altında detaylı olarak görüntülendi.
Bu çalışma, SUNUM altyapısında gerçekleştirilmiş olup, 10 Kasım’a özel olarak bilimin ve teknolojinin birleştiği bir mikro ölçekte 3D tasarım örneği sunmaktadır.
