mySU Online Rezervasyon sunum@sabanciuniv.edu SUNUM e-Store CO - SUNUM 360° SUNUM Intranet
Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda

Altyapı

Anasayfa > Altyapı > Laboratuvarlar > Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda

AMAÇ VE YETENEKLER

  • Partiküllerden arındırılmış ve kontrollü alanda; organik ve/veya inorganik, yarı iletken ve yalıtkan malzemeleri kaplama, farklı yöntemler ile (ıslak ve kuru) aşındırmak suretiyle birkaç nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar yatay ve dikey ölçeklerde şekillendirme
  • Birkaç nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar değişebilen tekli ve çok katmanlı fonksiyonel yapıların üretimi (algılayıcılar, devre elemanları ve devreler)
  • Üretilen katmanların ve mikro-nano sistemlerin kırmık üstü analizleri ve testleri
Sunum Fakülteler Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda Görsel
Sunum Fakülteler Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda Görsel
Sunum Fakülteler Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda Görsel
Sunum Fakülteler Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda Görsel
Sunum Fakülteler Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda Görsel

ETKİ VE UYGULAMA ALANLARI

  • Mikro ve nano sistemlerin prototiplerinin haberleşme, sağlık, savunma, çevre, enerji gibi uygulama alanları için üretimi
  • Kimyasal ve biyolojik sensör uygulamaları için mikro akışkan devrelerin üretimi
  • Biyosensör ve Lab-on-Chip uygulamalar için kapasitifsensör dizinleri
  • Yanıcı, patlayıcı ve zehirleyici kimyasallar için sensör dizinleri
  • RF mikroelektromekanik devre elemanlarının (RF-MEMS anahtar, Filtre, Resonatör, gibi) üretilmesi
  • Kızılötesi algılayıcı/dedektörler
  • Kapasitif, mikroişlenmiş, ultrasonik sinyal dönüştürücüler/algılayıcılar
  • Optik devre elemanlarının (Resonatör, yansıtıcı, filtre) üretimi
  • Mikro ve nano manipülatörler
  • THz uygulamaları için mikro ve nano antenlerin üretimi
  • Ataletselsensörler/çevirici/algılayıcılar: Giriskop, İvmeölçer

CİHAZ LİSTESİ

  • KLA-TENCOR P6 Surface Profiler
  • Semiconsoft Mprobe UVVis-NIR Thin Film Spectral Reflectance System
  • Cascade microtech PM5 Probe Station
  • Cascade microtech CP4 4-Point Probe
  • Despatch LCD1-16N-3 Photoresist Curing Ovens x4
  • Despatch LCD1-16N-3 Polyamide Curing Ovens x2
  • Kulicke and Sofa / 4700AD Ball and Wedge Wire Bonder
  • Mellen Crystal Growth Furnace
  • DISCO DAD 320 AutomaticDicingSaw
  • Vistec / EBPG5000plusES ElectronBeamLithographySystem
  • Torr E-beamandThermalEvaporator
  • TorrPlasmaAsher
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 PECVD
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 ICP 300 ICP RIE (III-V and Metal Ething)
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 ICP 300 Deep RIE (SiO2,SiNx andDeep Si Etching)
  • SSI / Solaris 75-150Rapid ThermalAnnealer
  • Midas / MDA-60MS Mask Aligner 4"
  • Nanovak NVTE4-01 ThermalEvaporator
  • DorutekElectroplatingSystem (Gold andNickelElectroplatingSystem)
  • DorutekLithographyWetBench x 2 (Spinner, Hot Plate, Rinser)
  • DorutekEtching Station (Quartz, TeflonBaths, UltrasonicBath, QDR) x3
  • DorutekWetBench (UltrasonicBath, Bench Top Hot Plate) x1
  • DorutekFumeHood x1
  • Carl Zeiss Optical Microscopes
Sabancı Sunum

Yenilikçi ve öncül araştırmalar ile katma değer yaratan mükemmeliyet merkezi.