Partiküllerden arındırılmış ve kontrollü alanda; organik ve/veya
inorganik, yarı iletken ve yalıtkan malzemeleri kaplama, farklı
yöntemler ile (ıslak ve kuru) aşındırmak suretiyle birkaç
nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar yatay ve dikey
ölçeklerde şekillendirme
Birkaç nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar değişebilen
tekli ve çok katmanlı fonksiyonel yapıların üretimi
(algılayıcılar, devre elemanları ve devreler)
Üretilen katmanların ve mikro-nano sistemlerin kırmık üstü
analizleri ve testleri
ETKİ VE UYGULAMA ALANLARI
Mikro ve nano sistemlerin prototiplerinin haberleşme, sağlık,
savunma, çevre, enerji gibi uygulama alanları için üretimi
Kimyasal ve biyolojik sensör uygulamaları için mikro akışkan
devrelerin üretimi
Biyosensör ve Lab-on-Chip uygulamalar için kapasitifsensör
dizinleri
Yanıcı, patlayıcı ve zehirleyici kimyasallar için sensör
dizinleri
RF mikroelektromekanik devre elemanlarının (RF-MEMS anahtar,
Filtre, Resonatör, gibi) üretilmesi
Kızılötesi algılayıcı/dedektörler
Kapasitif, mikroişlenmiş, ultrasonik sinyal
dönüştürücüler/algılayıcılar
Optik devre elemanlarının (Resonatör, yansıtıcı, filtre) üretimi
Mikro ve nano manipülatörler
THz uygulamaları için mikro ve nano antenlerin üretimi
