Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda

Alt-Yapı

Anasayfa > Alt-Yapı > Laboratuvarlar > Mikro ve Nanofabrikasyon Laboratuvarı ve Temiz Oda

AMAÇ VE YETENEKLER

  • Partiküllerden arındırılmış ve kontrollü alanda; organik ve/veya inorganik, yarı iletken ve yalıtkan malzemeleri kaplama, farklı yöntemler ile (ıslak ve kuru) aşındırmak suretiyle birkaç nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar yatay ve dikey ölçeklerde şekillendirme
  • Birkaç nanometreden yüzlerce mikrometreye kadar değişebilen tekli ve çok katmanlı fonksiyonel yapıların üretimi (algılayıcılar, devre elemanları ve devreler)
  • Üretilen katmanların ve mikro-nano sistemlerin kırmık üstü analizleri ve testleri

ETKİ VE UYGULAMA ALANLARI

  • Mikro ve nano sistemlerin prototiplerinin haberleşme, sağlık, savunma, çevre, enerji gibi uygulama alanları için üretimi
  • Kimyasal ve biyolojik sensör uygulamaları için mikro akışkan devrelerin üretimi
  • Biyosensör ve Lab-on-Chip uygulamalar için kapasitifsensör dizinleri
  • Yanıcı, patlayıcı ve zehirleyici kimyasallar için sensör dizinleri
  • RF mikroelektromekanik devre elemanlarının (RF-MEMS anahtar, Filtre, Resonatör, gibi) üretilmesi
  • Kızılötesi algılayıcı/dedektörler
  • Kapasitif, mikroişlenmiş, ultrasonik sinyal dönüştürücüler/algılayıcılar
  • Optik devre elemanlarının (Resonatör, yansıtıcı, filtre) üretimi
  • Mikro ve nano manipülatörler
  • THz uygulamaları için mikro ve nano antenlerin üretimi
  • Ataletselsensörler/çevirici/algılayıcılar: Giriskop, İvmeölçer

CİHAZ LİSTESİ

  • KLA-TENCOR P6 Surface Profiler
  • Semiconsoft Mprobe UVVis-NIR Thin Film Spectral Reflectance System
  • Cascade microtech PM5 Probe Station
  • Cascade microtech CP4 4-Point Probe
  • Despatch LCD1-16N-3 Photoresist Curing Ovens x4
  • Despatch LCD1-16N-3 Polyamide Curing Ovens x2
  • Kulicke and Sofa / 4700AD Ball and Wedge Wire Bonder
  • Mellen Crystal Growth Furnace
  • DISCO DAD 320 AutomaticDicingSaw
  • Vistec / EBPG5000plusES ElectronBeamLithographySystem
  • Torr E-beamandThermalEvaporator
  • TorrPlasmaAsher
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 PECVD
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 ICP 300 ICP RIE (III-V and Metal Ething)
  • Oxford PlasmaLabSystem 100 ICP 300 Deep RIE (SiO2,SiNx andDeep Si Etching)
  • SSI / Solaris 75-150Rapid ThermalAnnealer
  • Midas / MDA-60MS Mask Aligner 4"
  • Nanovak NVTE4-01 ThermalEvaporator
  • DorutekElectroplatingSystem (Gold andNickelElectroplatingSystem)
  • DorutekLithographyWetBench x 2 (Spinner, Hot Plate, Rinser)
  • DorutekEtching Station (Quartz, TeflonBaths, UltrasonicBath, QDR) x3
  • DorutekWetBench (UltrasonicBath, Bench Top Hot Plate) x1
  • DorutekFumeHood x1
  • Carl Zeiss Optical Microscopes
Sabancı Sunum

Yenilikçi ve öncül araştırmalar ile katma değer yaratan mükemmeliyet merkezi.